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广东省科学院半导体研究所聚焦离子束双束电子显微镜采购项目市场调研公告

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信息时间:
2024-12-16
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******学院半导体研究所(以下简称“采购人”)委托,现对“聚焦离子束双束电子显微镜”组织进行需求调研。为了解市场各供应商的服务情况,以及使服务和商务要求体现公平、公正的原则,现邀请有能力提供合格服务的各单位参与本项目的需求调研活动,相关事宜通知如下:
一、项目概况
1、调研内容:聚焦离子束双束电子显微镜1套
2、调研标的内容清单及主要服务要求:
需要实现的功能:
主要应用于各类样品的高分辨显微成像、高精度微纳加工、三维分析、原位失效分析、截面制备、定点透射电镜样品制备、纳米图形加工、电子束刻蚀、离子束沉积等。
价格要求:
货款、设计、安装、随机零配件、标配工具、运输保险、调试、培训、质保期服务、各项税费(采购人为免税单位,如提供进口产品的需排除进口税费)及合同实施过程中不可预见费用等。
配置内容要求:
1)辅助气体注入系统:可在离子束、电子束诱导下进行pt、w、c的气体沉积;
2)电子束分辨率(在最佳工作距离下):≤0.6nm @ 15kv;≤1.0nm @ 1kv(非减速模式下); 0.9nm@1kv(减速模式下);
3)电子束分辨率(在束重合点处):≤0.6nm @ 15kv;≤1.5nm @ 1kv;
4)电子束流强度范围:0.8pa-176na;
5)x、y方向移动范围不低于110mm;
6)样品仓内宽:≥379mm;
7)配备快速真空进样系统,快速进样时间≤25秒;
8)最大图像存储分辨率(单次扫描不拼接):不低于64k*64k;
9)配备全自动 tem制备软件,可以实现自动挖坑、提取、焊接以及减薄制样过程。
二、调研方式
有意向参与的单位可以向采购代理机构提供参数指标、设计方案、相关产业发展情况、市场供给情况、同类服务项目历史成交信息及其他需求相关情况意见或建议(须按照附件一:政府采购项目采购需求格式进行填写),请在本公告发出之日起的5个工作日内,以邮件或邮寄形式(材料加盖公章,并提供加盖公章的营业执照、注明联系人、联系电话)发送至采购代理机构邮箱:************学院大院9号楼东座2楼 李小姐020-******。采购人将根据调研意见情况,结合自身采购需求,形成采购文件。
三、需求调研截止日期、时间及公布媒体
1、递交截止日期和时间:2024年12月23日17:30(北京时间,以采购代理机构收到时间为准)。
******有限公司网(******)上公布。
四、单位联系方式
******有限公司
项目联系人:李小姐、苏先生
联系电话:020-******、020-******
传真号码:020-******
电子邮箱:******
******学院大院9号楼东座2楼
邮政编码:510070
网址:******
附件一:政府采购项目采购需求格式
******有限公司
2024年12月16日
附件下载:附件一:政府采购项目采购需求格式
查看项目详细信息

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